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在大气和真空环境之间互相导入电力或测量微小信号时所用的器件，称之为导入端子。导入端子要满足电绝缘、真空密封和承受电流负荷的要求，绝缘部分用陶瓷，导电部分用铜的导入端子比较普遍。专用大电流导入的端子可承受数百A的电流，针对微小信号时可用BNC同轴端子，另外还有含多个接头的多针端子。
各种超高真空组合体可以单独或组合使用，是真空系统的构成基础。代表性的组合体有样品加热、降温、离子枪、电子枪和各种蒸发源，广泛用于薄膜生长、材料分析等用途。根据用户特殊要求而设计制作，信赖度高。
