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产品中心
NT20原子力显微镜是一台专为半导体研发与先进制造打造，覆盖工艺分析、质量控制及失效分析等核心应用场景的工业设备。该设备具备高分辨率成像与高稳定性测量能力，支持最大 12 英寸晶圆扫描，可精准获取表面形貌、粗糙度及力学特性等关键参数。兼顾科研级精度与工业级效率，实现批量检测与高通量分析的有机统一。广泛应用于半导体材料与器件全流程表征，显著提升检测效率与数据可靠性，为先进制造提供坚实的纳米尺度测量支撑。
产品优势
- 大行程高精度载台, 支持最大 12 英寸晶圆
- 全域多尺度兼容扫描
- 超高分辨率
- 多参数一体化测量
- 锁相放大器：基于定制FPGA的高速设计
- 全材质无损检测
产品参数
关键词： 原子力显微镜AFM(Nano Tech 20)
