光盘样品
Product Center
产品中心
产品功能
成像模式：接触扫描、轻敲扫描、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、压电力显微镜(PFM)、开尔文探针力显微镜(KPFM)、力曲线
闭环噪音水平：XY轴：0.2 nm，Z轴:0.05 nm
扫描范围：XY轴：40 μm × 40 μm,Z轴：8 μm(可升级至100 μm选配)
导电样品、绝缘样品、生物样品表面形貌及理化性质检测
(最大样品尺寸：2.5 cm x 1 cm)
(样品移动范围：1.2 cm x 1.2 cm)
技术参数
适用领域
半导体晶圆缺陷检测；材料类表面形貌、粗糙度、力学特性、局域电学特性等；生命科学；生物医学。
产品成像
轻敲模式
接触模式
力曲线
 |  |  |  |  |  |  |
| 表面电荷分布 | 磁畴 | 磁泡 | 表面电势 | 螺旋结构 | ||
接触模式
扫描图样（形貌）
二维光栅样品
轻敲模式
扫描图样（形貌）
光盘样品
Gold bump样品
二维光栅样品
磁力显微镜（MFM）
扫描图样（相位）
磁带样品
磁盘样品
铁镓碲样品
静电力显微镜（EFM）
扫描图样
叉指电极样品形貌
叉指电极样品相位
压电力显微镜（PFM）
扫描图样（相位）
PMNPT样品相位
PMNPT样品相位
关键词： 原子力显微镜AFM-NanoTech10
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