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工业型原子力显微镜AFM-Semi Tech20
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工业型原子力显微镜AFM-Semi Tech20


产品功能

● 工业产线型AFM:高速、精确、刚性好,完美适配工业场景需求;
● FPGA高速扫描成像控制系统结合三轴分立压电扫描器;
● 扫描范围广,测量精度高;
● 对称的高强度压电堆栈,刚性好,噪声低高精度应变传感器,纳米级定位,亚纳米分辨;

压电位移台

FPGA高速扫描成像

晶圆缺陷检测

 

关键词: 工业型原子力显微镜AFM-Semi Tech20

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