Product Center
产品中心
半导体领域：可以精确检测基片表面抛光缺陷、图形化结构、薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度数据和深度信息，还能检测表面阻抗、电势分布等参数，为芯片制造工艺的稳定性和一致性提供保障。
产品功能
● 工业产线型AFM：高速、精确、刚性好，完美适配工业场景需求;
● FPGA高速扫描成像控制系统结合三轴分立压电扫描器;
● 扫描范围广，测量精度高;
● 对称的高强度压电堆栈，刚性好，噪声低高精度应变传感器，纳米级定位，亚纳米分辨;
压电位移台
FPGA高速扫描成像
晶圆缺陷检测
关键词： 工业型原子力显微镜AFM-Semi Tech20
