Product Center
产品中心
| 型号 | 滑动 法兰 | 底座 法兰 | X,Y驱动距离 （mm） | Z驱动距离 （mm） | 驱动精度 （mm） | 通径 （mm） | 漏率 （Pa.l.s-1） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XYZ70-70-S | ICF70 | ICF70 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 40.0 | <1.33×10-8 |
| XYZ114-70-S | ICF70 | ICF114 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 40.0 | <1.33×10-8 |
| XYZ152-70-S | ICF70 | ICF152 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 40.0 | <1.33×10-8 |
| XYZ152-114-S | ICF114 | ICF152 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 63.0 | <1.33×10-8 |
| XYZ203-114-S | ICF114 | ICF203 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 63.0 | <1.33×10-8 |
| XYZ203-152-S | ICF152 | ICF203 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 100.0 | <1.33×10-8 |
S：移动距离（客户指定）
例：滑动法兰ICF70，底座法兰ICF114，驱动距离为100mm，则型号为XYZ114-70-100
焊接波纹管密封，全金属构造
超高真空环境下，XYZ三维平移
有效通径大
还可以附加旋转，加热及冷却功能
安装角度自由
根据用户要求，可以制作各种驱动长度
烘烤温度：>200℃
电机驱动备选
关键词： XYZ三维位移台
