Product Center
产品中心
| 型号 | 底座法兰 | 滑动法兰 | X,Y驱动距离 （mm） | Z驱动距离 （mm） | 驱动精度 （mm） | 通径 （mm） | 漏率 （Pa.l.s-1） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| HD-XYZ-152-S | ICF152 | ICF114 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 100.0 | <1.33×10-8 |
| HD-XYZ-203-S | ICF203 | ICF152 | ±10.0 | S | XY：0.01 Z：0.1 | 150.0 | <1.33×10-8 |
S：移动距离（客户指定）
例：底座法兰ICF152，滑动法兰ICF114，驱动距离为100mm，则型号为HD-XYZ-152-100
焊接波纹管密封，有效通径大
超高真空环境下，XYZ三维平移
适用于重负载驱动，比如安装液氦杜瓦或特殊样品台
安装角度自由
可以附加旋转，加热及冷却功能
烘烤温度：>200℃
XY±25mm备选
电机驱动备选
关键词： 重负载XYZ三维位移台
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