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项目交付丨标度量子为合肥国家实验室交付原子力显微镜AFM(NanoTech 20)

发布时间：

2026/05/08

近日，标度量子自研高端原子力显微镜（NanoTech 20）顺利完成装机调试、全性能标定与现场验收，正式交付入驻合肥国家实验室，以国产纳米表征硬核装备，为量子科技、二维材料、纳米精密测控等前沿基础研究，筑牢微观探测底层硬件底座。

尖端设备，彰显技术硬实力

NanoTech 20 原子力显微镜，为半导体研发和原级子制造打造的高端仪器，覆盖工艺分析、质量控制及失效分析等核心应用场景的工业设备。该设备具备高分辨率成像与高稳定性测量能力，支持最大12英寸晶圆扫描，可精准获取表面形貌、粗糙度及力学特性等关键参数。

兼顾科研级精度与工业级效率，实现批量检测与高通量分析的有机统一。广泛应用于半导体材料与器件全流程表征，显著提升检测效率与数据可靠性，为先进制造提供坚实的纳米尺度测量支撑。

标度量子NanoTech 20-晶圆级原子力显微镜

以仪器之基，拓科研之界；以自研之力，破卡脖子之困。

作为国家战略科技力量核心载体，合肥国家实验室深耕量子信息、精密感知、功能新材料、微纳器件等重大前沿赛道，是我国在量子科技与纳米科学领域集科研攻关、学术引领、成果转化于一体的顶尖科研高地，肩负着突破前沿基础理论、攻克关键核心技术、构筑国家科技竞争优势的重大使命，对微纳尺度原子级超高精度表征装备有着严苛的性能与稳定性要求。