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SemiTech 20 原子力显微镜专为工业级半导体缺陷检测而设计，具备高精度、高稳定性和操作简便等特点，可满足12英寸晶圆表面形貌、微观缺陷及关键工艺参数的精细表征需求。仪器配备自动化大尺寸晶圆真空吸盘，能够实现晶圆的稳定装夹与便捷检测；同时支持丰富的仪器联用方案，便于与其他分析设备及工艺平台集成，提升检测效率与数据应用价值。
凭借先进的原子力成像技术和面向工业现场的设计，SemiTech 20可为半导体制造、工艺研发及质量控制提供可靠、高效的微纳检测解决方案。
产品优势
- MAP 图动态显示测试全过程
- 圆形、编辑等多种测试方式
- 支持手动及自动化测试
- 根据芯片尺寸并生成MAP图，同时可任意编辑晶圆MAP图
- 支持单点及连续测试
- 软件留有接口，可接驳可编程的测试设备
产品参数
压电位移台
FPGA高速扫描成像
晶圆缺陷检测
关键词： 工业型原子力显微镜AFM-Semi Tech20
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